TEM用の試料作成装置で培った技術とノウハウを生かしたSEM用試料作製装置の情報を提供します。
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PECS IIシステム
SEMのイメージングおよび分析技術のための試料の研磨およびコーティング用に設計されたブロードアルゴンイオンビームシステム。 |
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Ilion IIシステム
試料の断面、表面加工が出来、その加工面を低加速電圧で処理することにより、最適なSEM用および分析用の試料を作製することが出来ます。 |
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Solarus II システム
TEM、SEM試料および試料ホルダーから炭化水素コンタミネーションを除去する次世代のプラズマツール |
